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Enhanced Boron Diffusion in Amorphous Silicon

Jacques, J.M.; Burbure, N.; Jones, K.S.; Law, M.E.; Robertson, L.S.; Downey, D.F.; Rubin, L.M.; Bennett, J.; Beebe, M.; Klimov, M.

期刊名称MRS Proceedings
作者Jacques, J.M.; Burbure, N.; Jones, K.S.; Law, M.E.; Robertson, L.S.; Downey, D.F.; Rubin, L.M.; Bennett, J.; Beebe, M.; Klimov, M.
卷第810卷
电子ISSN1946-4274
文件大小92.93KB
发表时间2004-1
DOI10.1557/PROC-810-C10.3