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Design and fabrication of epitaxial silicon micromirror devices

Design and fabrication of epitaxial silicon micromirror devices

Chengkuo Lee

作者Chengkuo Lee
卷第115卷
印刷ISSN0924-4247
文件大小939.42KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.sna.2004.03.045
页码581-590

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