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Recent developments in pulsed magnetron sputtering

Recent developments in pulsed magnetron sputtering

R.D. Arnell; P.J. Kelly; J.W. Bradley

作者R.D. Arnell; P.J. Kelly; J.W. Bradley
印刷ISSN0257-8972
文件大小257.66KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.surfcoat.2004.08.010
页码158-163

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