Image placement issues for ITO-based step and flash imprint lithography templates
K. J. Nordquist; E. S. Ainley; D. P. Mancini; W. J. Dauksher; K. A. Gehoski; J. Baker; D. J. Resnick; Z. Masnyj; P. J. S. Mangat
- 作者K. J. Nordquist; E. S. Ainley; D. P. Mancini; W. J. Dauksher; K. A. Gehoski; J. Baker; D. J. Resnick; Z. Masnyj; P. J. S. Mangat
- 文件大小901.30KB
- 发表时间2004
- DOI10.1116/1.1667512