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Deep Reactive Ion Etching for High Aspect Ratio Microelectromechanical Components

Jensen, Søren; Yalçinkaya, Arda D; Jacobsen, Søren; Rasmussen, Torben; Rasmussen, Frank Engel; Hansen, Ole

期刊名称Physica Scripta
作者Jensen, Søren; Yalçinkaya, Arda D; Jacobsen, Søren; Rasmussen, Torben; Rasmussen, Frank Engel; Hansen, Ole
印刷ISSN0031-8949
电子ISSN1402-4896
文件大小678.61KB
发表时间2004-01-01
DOI10.1088/0031-8949/2004/T114/047
页码188-192