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Fabrication of 128×128 element optical switch array by micromachining technology

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S.B. Wang; S.B. Zhou; G. Huang; B.F. Xiong; S.H. Chen; X.J. Yi

作者S.B. Wang; S.B. Zhou; G. Huang; B.F. Xiong; S.H. Chen; X.J. Yi
卷第29卷
期第1期
印刷ISSN0141-9331
文件大小197.96KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.micpro.2004.07.003
页码21-25

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