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Multiscale approach for the analysis of channeling profile measurements of ion implantation damage

G. Hobler; G. Otto; D. Kovač; L. Palmetshofer; K. Mayerhofer; K. Piplits

作者G. Hobler; G. Otto; D. Kovač; L. Palmetshofer; K. Mayerhofer; K. Piplits
卷第228卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小307.74KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.nimb.2004.10.070
页码360-363

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