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Novel low-k polycyanurates for integrated circuit (IC) metallization

K. Schulze; U. Schuldt; O. Kahle; S.E. Schulz; M. Uhlig; C. Uhlig; C. Dreyer; M. Bauer; T. Gessner

作者K. Schulze; U. Schuldt; O. Kahle; S.E. Schulz; M. Uhlig; C. Uhlig; C. Dreyer; M. Bauer; T. Gessner
卷第82卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小144.46KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.mee.2005.07.016
页码356-361