Femtosecond nanostructuring of silicon surfaces

• 作者S. V. Zabotnov; L. A. Golovan’; I. A. Ostapenko; Yu. V. Ryabchikov; A. V. Chervyakov; V. Yu. Timoshenko; P. K. Kashkarov; V. V. Yakovlev
• 卷第83卷
• 期第2期
• 印刷ISSN0021-3640
• 电子ISSN1090-6487
• 文件大小199.69KB
• 发表时间2006-03
• DOI10.1134/s0021364006020056
• 页码69-71