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Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie

Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie

J. Mohn; R. Gälli; L. Emmenegger

作者J. Mohn; R. Gälli; L. Emmenegger
卷第78卷
期第10期
印刷ISSN0009-286X
电子ISSN1522-2640
文件大小254.83KB
发表时间2006
DOI10.1002/cite.200600037
页码1524-1530

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