Fluoride antireflection coatings for deep ultraviolet optics deposited by ion-beam sputtering

• 期刊名称ao/45/7/ao-45-7-1375.pdf
• 作者Yoshida, Toshiya; Nishimoto, Keiji; Sekine, Keiichi; Etoh, Kazuyuki
• 卷第45卷
• 期第7期
• 印刷ISSN0003-6935
• 电子ISSN1539-4522
• 文件大小1035.49KB
• 发表时间2006
• DOI10.1364/AO.45.001375