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Model Development for Atomic Force Microscope Stage Mechanisms

Smith, Ralph C.; Hatch, Andrew G.; De, Tathagata; Salapaka, Murti V.; del Rosario, Ricardo C. H.; Raye, Julie K.

期刊名称SIAM Journal on Applied Mathematics
作者Smith, Ralph C.; Hatch, Andrew G.; De, Tathagata; Salapaka, Murti V.; del Rosario, Ricardo C. H.; Raye, Julie K.
卷第66卷
期第6期
印刷ISSN0036-1399
电子ISSN1095-712X
文件大小435.79KB
发表时间2006-01
DOI10.1137/05063307x
页码1998-2026