Air-Gap Fabrication Using a Sacrificial Polymeric Thin Film Synthesized via Initiated Chemical Vapor Deposition

• 期刊名称Journal of The Electrochemical Society
• 作者Chan, Kelvin; Gleason, Karen K.
• 卷第153卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0013-4651
• 文件大小249.01KB
• 发表时间2006
• DOI10.1149/1.2168297