Characteristics of Mixed Oxides and Nanolaminates of Atomic Layer Deposited HfO[sub 2]–TiO[sub 2] Gate Dielectrics
Triyoso, D. H.; Hegde, R. I.; Wang, X.-D.; Stoker, M. W.; Rai, R.; Ramon, M. E.; White, B. E.; Tobin, P. J.
- 期刊名称Journal of The Electrochemical Society
- 作者Triyoso, D. H.; Hegde, R. I.; Wang, X.-D.; Stoker, M. W.; Rai, R.; Ramon, M. E.; White, B. E.; Tobin, P. J.
- 卷第153卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0013-4651
- 文件大小990.20KB
- 发表时间2006
- DOI10.1149/1.2216528