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Ion beam enhanced etching of LiNbO3

Ion beam enhanced etching of LiNbO3

F. Schrempel; Th. Gischkat; H. Hartung; E.-B. Kley; W. Wesch

作者F. Schrempel; Th. Gischkat; H. Hartung; E.-B. Kley; W. Wesch
卷第250卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小407.25KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.nimb.2006.04.101
页码164-168

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