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Prediction of the anomalous fluorine-silicon interstitial pair diffusion in crystalline silicon

Prediction of the anomalous fluorine-silicon interstitial pair diffusion in crystalline silicon

Harrison, Scott A.; Edgar, Thomas F.; Hwang, Gyeong S.
  • 期刊名称Physical Review B
  • 作者Harrison, Scott A.; Edgar, Thomas F.; Hwang, Gyeong S.
  • 卷第74卷
  • 期第12期
  • 印刷ISSN1098-0121
  • 电子ISSN1550-235X
  • 文件大小409.28KB
  • 发表时间2006-9-6
  • DOI10.1103/PhysRevB.74.121201
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