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SiC cantilever resonators with electrothermal actuation

Liudi Jiang; R. Cheung; J. Hedley; M. Hassan; A.J. Harris; J.S. Burdess; M. Mehregany; C.A. Zorman

作者Liudi Jiang; R. Cheung; J. Hedley; M. Hassan; A.J. Harris; J.S. Burdess; M. Mehregany; C.A. Zorman
卷第128卷
期第2期
印刷ISSN0924-4247
文件大小587.33KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.sna.2006.01.045
页码376-386