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Plasma ignition in a grounded chamber connected to a capacitive discharge

Lieberman, M A; Lichtenberg, A J; Kim, Sungjin; Gudmundsson, J T; Keil, D L; Kim, Jisoo

期刊名称Plasma Sources Science and Technology
作者Lieberman, M A; Lichtenberg, A J; Kim, Sungjin; Gudmundsson, J T; Keil, D L; Kim, Jisoo
卷第15卷
期第2期
印刷ISSN0963-0252
电子ISSN1361-6595
文件大小424.64KB
发表时间2006-05-01
DOI10.1088/0963-0252/15/2/013
页码276-287