Air gap type thin film bulk acoustic resonator fabrication using simplified process

• 作者Eung Kwon Kim; Tae Yong Lee; Young Hak Jeong; Young Park; Joon Tae Song
• 卷第496卷
• 期第2期
• 印刷ISSN0040-6090
• 文件大小274.04KB
• 发表时间2006
• DOI10.1016/j.tsf.2005.08.383
• 页码653-657