Interface roughness in Mo/Si multilayers

I. Nedelcu; R.W.E. van de Kruijs; A.E. Yakshin; F. Tichelaar; E. Zoethout; E. Louis; H. Enkisch; S. Muellender; F. Bijkerk

作者I. Nedelcu; R.W.E. van de Kruijs; A.E. Yakshin; F. Tichelaar; E. Zoethout; E. Louis; H. Enkisch; S. Muellender; F. Bijkerk
卷第515卷
期第2期
印刷ISSN0040-6090
文件大小306.31KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.tsf.2005.12.168
页码434-438

发现好书期刊，享受阅读乐趣