Advances in pulsed-laser-deposited AIN thin films for high-temperature capping, device passivation, and piezoelectric-based RF MEMS/NEMS resonator applications
S. S. Hullavarad; R. D. Vispute; B. Nagaraj; V. N. Kulkarni; S. Dhar; T. Venkatesan; K. A. Jones; M. Derenge; T. Zheleva; M. H. Ervin; A. Lelis; C. J. Scozzie; D. Habersat; A. E. Wickenden; L. J. Currano; M. Dubey
- 作者S. S. Hullavarad; R. D. Vispute; B. Nagaraj; V. N. Kulkarni; S. Dhar; T. Venkatesan; K. A. Jones; M. Derenge; T. Zheleva; M. H. Ervin; A. Lelis; C. J. Scozzie; D. Habersat; A. E. Wickenden; L. J. Currano; M. Dubey
- 卷第35卷
- 期第4期
- 印刷ISSN0361-5235
- 电子ISSN1543-186X
- 文件大小643.47KB
- 发表时间2006
- DOI10.1007/s11664-006-0138-5
- 页码777-794