Electrical and optical properties of Si-rich SiNx layers: Effect of annealing

P. Szöllősi; P. Basa; Cs. Dücső; B. Máté; M. Ádám; T. Lohner; P. Petrik; B. Pécz; L. Tóth; L. Dobos; L. Dózsa; Zs.J. Horváth

期刊名称Current Applied Physics
作者P. Szöllősi; P. Basa; Cs. Dücső; B. Máté; M. Ádám; T. Lohner; P. Petrik; B. Pécz; L. Tóth; L. Dobos; L. Dózsa; Zs.J. Horváth
卷第6卷
期第2期
印刷ISSN1567-1739
文件大小99.00KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.cap.2005.07.035
页码179-181

发现好书期刊，享受阅读乐趣