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The versatility of hot-filament activated chemical vapor deposition
Lothar Schäfer; Markus Höfer; Roland Kröger
作者
Lothar Schäfer; Markus Höfer; Roland Kröger
卷
第515卷
期
第3期
印刷ISSN
0040-6090
文件大小
1982.96KB
发表时间
2006
DOI
10.1016/j.tsf.2006.07.073
页码
1017-1024
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