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Hydrocarbon impurities in SiF4and SiH4prepared from it

A. D. Bulanov; P. G. Sennikov; V. A. Krylov; T. G. Sorochkina; L. A. Chuprov; O. Yu. Chernova; O. Yu. Troshin

作者A. D. Bulanov; P. G. Sennikov; V. A. Krylov; T. G. Sorochkina; L. A. Chuprov; O. Yu. Chernova; O. Yu. Troshin
卷第43卷
期第4期
印刷ISSN0020-1685
电子ISSN1608-3172
文件大小150.79KB
发表时间2007-04
DOI10.1134/s0020168507040061
页码364-368