Evaluation of OKI SOI technology

Y. Ikegami; Y. Arai; K. Hara; M. Hazumi; H. Ikeda; H. Ishino; T. Kohriki; H. Miyake; A. Mochizuki; S. Terada; T. Tsuboyama; Y. Unno

作者Y. Ikegami; Y. Arai; K. Hara; M. Hazumi; H. Ikeda; H. Ishino; T. Kohriki; H. Miyake; A. Mochizuki; S. Terada; T. Tsuboyama; Y. Unno
卷第579卷
期第2期
印刷ISSN0168-9002
文件大小435.11KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.nima.2007.05.272
页码706-711

发现好书期刊，享受阅读乐趣