Effect of laser field and thermal stress on diffusion in laser doping of SiC

• 作者Sachin Bet; Nathaniel Quick; Aravinda Kar
• 卷第55卷
• 期第20期
• 印刷ISSN1359-6454
• 文件大小407.32KB
• 发表时间2007
• DOI10.1016/j.actamat.2007.08.039
• 页码6816-6824