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Stroboscopic Imaging Interferometer for MEMS Performance Measurement

Stroboscopic Imaging Interferometer for MEMS Performance Measurement

Conway, Josh A.; Osborn, Jon V.; Fowler, Jesse David

期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
作者Conway, Josh A.; Osborn, Jon V.; Fowler, Jesse David
卷第16卷
期第3期
印刷ISSN1057-7157
文件大小1084.40KB
发表时间2007-06
DOI10.1109/jmems.2007.896710

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