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Hybrid laser micro/nanofabrication of phase change materials with combination of chemical processing

Y. Lin; M.H. Hong; G.X. Chen; C.S. Lim; L.S. Tan; Z.B. Wang; L.P. Shi; T.C. Chong

作者Y. Lin; M.H. Hong; G.X. Chen; C.S. Lim; L.S. Tan; Z.B. Wang; L.P. Shi; T.C. Chong
印刷ISSN0924-0136
文件大小2126.90KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.jmatprotec.2007.04.089
页码340-345