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Extended incident-angle dependence formula for physical sputtering

Extended incident-angle dependence formula for physical sputtering

T. Ono; K. Shibata; T. Kenmotsu; T. Muramoto; Z. Li; T. Kawamura

作者T. Ono; K. Shibata; T. Kenmotsu; T. Muramoto; Z. Li; T. Kawamura
印刷ISSN0022-3115
文件大小389.75KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.jnucmat.2007.01.178
页码1266-1271

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