Characterisation of ultraviolet nanoimprint dedicated resists
P. Voisin; M. Zelsmann; R. Cluzel; E. Pargon; C. Gourgon; J. Boussey
- 作者P. Voisin; M. Zelsmann; R. Cluzel; E. Pargon; C. Gourgon; J. Boussey
- 卷第84卷
- 印刷ISSN0167-9317
- 文件大小1133.36KB
- 发表时间2007
- DOI10.1016/j.mee.2007.01.086
- 页码967-972