Parasitic effect on silicon MEMS resonator model parameters

Kazuaki Tanaka; Ryuji Kihara; Ana Sánchez-Amores; Josep Montserrat; Jaume Esteve

作者Kazuaki Tanaka; Ryuji Kihara; Ana Sánchez-Amores; Josep Montserrat; Jaume Esteve
卷第84卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小327.92KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.mee.2007.01.209
页码1363-1368

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