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Effect of Thermal Annealing on Ga-Doped ZnO Films Prepared by Magnetron Sputtering

Effect of Thermal Annealing on Ga-Doped ZnO Films Prepared by Magnetron Sputtering

Sheu, J. K.; Shu, K. W.; Lee, M. L.; Tun, C. J.; Chi, G. C.

期刊名称Journal of The Electrochemical Society
作者Sheu, J. K.; Shu, K. W.; Lee, M. L.; Tun, C. J.; Chi, G. C.
卷第154卷
期第6期
印刷ISSN0013-4651
文件大小109.69KB
发表时间2007
DOI10.1149/1.2721760

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