In-line method for extracting the temperature coefficient of resistance of surface-micromachined polysilicon thin films

• 作者Gaobin Xu; Yang Li; Qing-An Huang; Weihua Li
• 卷第136卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0924-4247
• 文件大小922.57KB
• 发表时间2007
• DOI10.1016/j.sna.2006.10.033
• 页码249-254