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Computer simulation of magnetron sputtering — Experience from the industry
S. Kadlec
作者
S. Kadlec
卷
第202卷
印刷ISSN
0257-8972
文件大小
2226.25KB
发表时间
2007
DOI
10.1016/j.surfcoat.2007.06.043
页码
895-903
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