Near-interfacial delamination failures observed in ion-beam-sputtered Ta2O5/SiO2 multi-layer stacks

• 作者Marius Grigonis; Wilhelm Hebenstreit; Markus K. Tilsch
• 卷第516卷
• 印刷ISSN0040-6090
• 文件大小548.95KB
• 发表时间2007
• DOI10.1016/j.tsf.2007.06.133
• 页码136-140