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Laser drilling of superdeep micron holes in various materials with a programmable control of laser radiation parameters

Basiev, Tasoltan T; Gavrilov, A V; Osiko, Vyacheslav V; Smetanin, S N; Fedin, A V

期刊名称Quantum Electronics
作者Basiev, Tasoltan T; Gavrilov, A V; Osiko, Vyacheslav V; Smetanin, S N; Fedin, A V
卷第37卷
期第1期
印刷ISSN1063-7818
电子ISSN1468-4799
文件大小738.73KB
发表时间2007-01-31
DOI10.1070/QE2007v037n01ABEH013310
页码99-102