PECVD of Low Carbon Content Silicon Nitride-Like Thin Films with Dimethylaminosilanes
- 作者Rosa Di Mundo; Marina Ricci; Riccardo d'Agostino; Francesco Fracassi; Fabio Palumbo
- 卷第4卷
- 印刷ISSN1612-8850
- 电子ISSN1612-8869
- 文件大小173.83KB
- 发表时间2007
- DOI10.1002/ppap.200730203