Piezoresistive and self-actuated 128-cantilever arrays for nanotechnology applications
I.W. Rangelow; Tzv. Ivanov; K. Ivanova; B.E. Volland; P. Grabiec; Y. Sarov; A. Persaud; T. Gotszalk; P. Zawierucha; M. Zielony; D. Dontzov; B. Schmidt; M. Zier; N. Nikolov; I. Kostic; W. Engl; T. Sulzbach; J. Mielczarski; S. Kolb; Du P. Latimier; R. Pedreau; V. Djakov; S.E. Huq; K. Edinger; O. Fortagne; A. Almansa; H.O. Blom
- 作者I.W. Rangelow; Tzv. Ivanov; K. Ivanova; B.E. Volland; P. Grabiec; Y. Sarov; A. Persaud; T. Gotszalk; P. Zawierucha; M. Zielony; D. Dontzov; B. Schmidt; M. Zier; N. Nikolov; I. Kostic; W. Engl; T. Sulzbach; J. Mielczarski; S. Kolb; Du P. Latimier; R. Pedreau; V. Djakov; S.E. Huq; K. Edinger; O. Fortagne; A. Almansa; H.O. Blom
- 卷第84卷
- 印刷ISSN0167-9317
- 文件大小594.09KB
- 发表时间2007
- DOI10.1016/j.mee.2007.01.219
- 页码1260-1264