SU-8 MEMS Fabry-Perot pressure sensor

G.C. Hill; R. Melamud; F.E. Declercq; A.A. Davenport; I.H. Chan; P.G. Hartwell; B.L. Pruitt

作者G.C. Hill; R. Melamud; F.E. Declercq; A.A. Davenport; I.H. Chan; P.G. Hartwell; B.L. Pruitt
卷第138卷
期第1期
印刷ISSN0924-4247
文件大小789.02KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.sna.2007.04.047
页码52-62

发现好书期刊，享受阅读乐趣