Development of a Latchable Microvalve Employing a Low-Melting-Temperature Metal Alloy

• 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
• 作者Shaikh, K.A.; Shifeng Li, ; Chang Liu,
• 卷第17卷
• 期第5期
• 印刷ISSN1057-7157
• 电子ISSN1941-0158
• 文件大小1486.81KB
• 发表时间2008-10
• DOI10.1109/JMEMS.2008.2003055
• 页码1195-1203