Density Multiplication and Improved Lithography by Directed Block Copolymer Assembly
Ruiz, R.; Kang, H.; Detcheverry, F. A.; Dobisz, E.; Kercher, D. S.; Albrecht, T. R.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F.
- 期刊名称Science
- 作者Ruiz, R.; Kang, H.; Detcheverry, F. A.; Dobisz, E.; Kercher, D. S.; Albrecht, T. R.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F.
- 卷第321卷
- 期第5891期
- 印刷ISSN0036-8075
- 电子ISSN1095-9203
- 文件大小537.40KB
- 发表时间2008-08-15
- DOI10.1126/science.1157626
- 页码936-939