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<![CDATA[Directed Fabrication of Ceramic Nanostructures on Fragile Substrates Using Soft-electron Beam Lithography (soft-eBL)]]>

Donthu, S.; Alem, N.; Zixiao Pan, ; Shu-You Li, ; Shekhawat, G.; Dravid, V.; Benkstein, K.D.; Semancik, S.
  • 作者Donthu, S.; Alem, N.; Zixiao Pan, ; Shu-You Li, ; Shekhawat, G.; Dravid, V.; Benkstein, K.D.; Semancik, S.
  • 卷第7卷
  • 期第3期
  • 文件大小465.63KB
  • 发表时间2008
  • DOI10.1109/tnano.2008.917793
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