Hydrogen termination for extended queue times for low temperature epitaxy
P. Brabant; J. Ferrara; B. Pagliaro; K. Weeks; M. Rittgers; R. Scott; Y. Zhang; T. Landin; T. Irving; J. Spear; J. Italiano; S.G. Thomas
- 作者P. Brabant; J. Ferrara; B. Pagliaro; K. Weeks; M. Rittgers; R. Scott; Y. Zhang; T. Landin; T. Irving; J. Spear; J. Italiano; S.G. Thomas
- 卷第255卷
- 印刷ISSN0169-4332
- 文件大小330.98KB
- 发表时间2008
- DOI10.1016/j.apsusc.2008.06.025
- 页码1741-1743