Photocurrent spectroscopy of low-k dielectric materials: Barrier heights and trap densities
Atkin, J. M.; Song, D.; Shaw, T. M.; Cartier, E.; Laibowitz, R. B.; Heinz, T. F.
- 期刊名称Journal of Applied Physics
- 作者Atkin, J. M.; Song, D.; Shaw, T. M.; Cartier, E.; Laibowitz, R. B.; Heinz, T. F.
- 卷第103卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0021-8979
- 文件大小633.31KB
- 发表时间2008
- DOI10.1063/1.2907958