Chemical vapor deposition of chalcogenide materials for phase-change memories

A. Abrutis; V. Plausinaitiene; M. Skapas; C. Wiemer; O. Salicio; M. Longo; A. Pirovano; J. Siegel; W. Gawelda; S. Rushworth; C. Giesen

作者A. Abrutis; V. Plausinaitiene; M. Skapas; C. Wiemer; O. Salicio; M. Longo; A. Pirovano; J. Siegel; W. Gawelda; S. Rushworth; C. Giesen
卷第85卷
期第12期
印刷ISSN0167-9317
文件大小437.84KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.mee.2008.09.014
页码2338-2341

发现好书期刊，享受阅读乐趣