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Effect of Back-Etching on Electrical Properties of (001)&(100) Oriented PZT(30/70) Thin Films

Ohno, Tomoya; Malič, Babara; Kosec, Marija; Matsuda, Takeshi; Wakiya, Naoki; Suzuki, Hisao

期刊名称Ferroelectrics
作者Ohno, Tomoya; Malič, Babara; Kosec, Marija; Matsuda, Takeshi; Wakiya, Naoki; Suzuki, Hisao
卷第370卷
期第1期
印刷ISSN0015-0193
电子ISSN1563-5112
文件大小365.41KB
发表时间2008-10-21
DOI10.1080/00150190802384468
页码119-125