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Stress and Crystallization of Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition Nanocrystalline Silicon Films

Milne, S. B.; Fu, Y. Q.; Luo, J. K.; Flewitt, A. J.; Pisana, S.; Fasoli, A.; Milne, W. I.

期刊名称Journal of Nanoscience and Nanotechnology
作者Milne, S. B.; Fu, Y. Q.; Luo, J. K.; Flewitt, A. J.; Pisana, S.; Fasoli, A.; Milne, W. I.
卷第8卷
期第5期
印刷ISSN1533-4880
文件大小1032.92KB
发表时间2008-05-01
DOI10.1166/jnn.2008.629
页码2693-2698