Tantalum nitride thin film resistors by low temperature reactive sputtering for plastic electronics

Antonino Scandurra; Giuseppe Francesco Indelli; Bruno Pignataro; Silvestra Di Marco; Maria Ausilia Di Stefano; Sebastiano Ravesi; Salvatore Pignataro

作者Antonino Scandurra; Giuseppe Francesco Indelli; Bruno Pignataro; Silvestra Di Marco; Maria Ausilia Di Stefano; Sebastiano Ravesi; Salvatore Pignataro
卷第40卷
印刷ISSN0142-2421
电子ISSN1096-9918
文件大小214.38KB
发表时间2008
DOI10.1002/sia.2681
页码758-762

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