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Combinatorial initiated chemical vapor deposition (iCVD) for polymer thin film discovery

Combinatorial initiated chemical vapor deposition (iCVD) for polymer thin film discovery

Tyler P. Martin; Kelvin Chan; Karen K. Gleason

作者Tyler P. Martin; Kelvin Chan; Karen K. Gleason
卷第516卷
期第5期
印刷ISSN0040-6090
文件大小291.34KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.tsf.2007.06.113
页码681-683

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