An inertial piezoelectric step drive for subnanosize-accuracy movements

• 作者A. M. Lipanov; P. V. Gulyaev; E. Yu. Shelkovnikov; A. V. Tyurikov
• 卷第52卷
• 期第5期
• 印刷ISSN0020-4412
• 电子ISSN1608-3180
• 文件大小171.28KB
• 发表时间2009-09
• DOI10.1134/s0020441209050157
• 页码725-726